半導體行業

5G、物聯網 (IoT)、人工智能 (AI)、電動汽車、聯網醫療設備、工業機器人等等。下一代技術的出現推動了對微處理器、存儲芯片和平板顯示器等半導體產品的需求增加。這些技術複雜的應用通常需要更快的處理速度和更低的功耗，需要更複雜的製造工藝。許多工藝的製造精度現在已降至 10 納米以下，這意味著即使是最小的污染物也會導致產品缺陷和產量損失。這些系統必須可靠運行才能滿足需求。

需要潤滑劑來確保製造和加工設備的功能，但錯誤的潤滑劑可能會導致計劃外停機和污染。維護和停機是昂貴的。潤滑劑可防止摩擦和磨損，以延長部件壽命並確保系統可靠運行。潤滑劑脫氣和顆粒產生會污染晶圓廠設備和產品，並對產品質量和產量產生負面影響。為了避免這些問題，選擇具有低氣體釋放和低顆粒生成特性的高性能特種潤滑脂至關重要。

半導體製造和加工設備通常在真空和高溫下運行，需要高性能潤滑劑來保護其軸承、直線導軌和滑塊、滾珠和絲槓以及密封件免受磨損。"

半導體油脂的優勢

NyeTorr®、NyeClean® 和 NyeVac® 是專為半導體製造和加工設備配製的特種潤滑劑。 這些低釋氣半導體潤滑劑即使暴露在工藝氣體中也具有化學穩定性，使其成為領先的半導體設備原始設備製造商和製造商的首選。

特點與優勢

  • 減少摩擦和磨損
  • 延長部件壽命
  • 防止污染
  • 承受真空條件
  • 提高功能性和可靠性
  • 避免潛在缺陷
  • 減少停機時間

選擇半導體潤滑劑時應考慮哪些特性？

當潤滑劑脫氣時，它會釋放可冷凝的物質，這些物質會污染晶片、加工設備和其他敏感部件。 根據 ASTM E595，以總質量損失 (TML) 和收集的揮發物質冷凝量  (CVCM) 測量潤滑劑的氣體釋放量。 Nye 的潤滑劑遠低於半導體行業確定的可接受的脫氣限值，TML 為 1.00% 或更低，CVCM 為 0.10% 或更低。 Nye 可以收集這些冷凝物質並進行殘留氣體分析 (RGA)，以確定從潤滑劑釋放并進入系統的物質。

術語動態顆粒生成描述了當污染物從潤滑的滾珠絲槓、軸承或齒輪系統被強製或排出到操作環境中時會發生什麼。 這些污染物可能包括基礎油成分、增稠劑顆粒、添加劑等，並通過動態機械作用從潤滑脂中分離出來，無論是滾動、滑動還是兩者的結合。 Nye 應用開發和驗證測試實驗室的工程師開發了一種專有的測試方法和設備，可以測量和量化這些動態條件下的粒子生成。 該測試的結果提供了有價值的數據，可用於為低顆粒生成的特種潤滑劑的開發提供信息。

潤滑劑必須能夠在高溫下保護晶圓廠設備的機械部件且不會蒸發。 隨著蒸汽壓力的增加，在高溫下更有可能發生脫氣。 Nye 的許多真空和潔淨室潤滑劑都經過配製，可在高達 250 °C 的高溫下發揮作用。

真空和潔淨室環境中的製造設備高度敏感，即使是微小的顆粒也會導致產品故障。 確保潤滑劑清潔度的最佳方法是通過超濾。 超濾是一種很好的過濾過程，可消除潤滑劑中的微小顆粒。 此過程的目的是從潤滑脂或潤滑油中去除不需要的物質或污染物。 Nye 可以超濾潤滑脂和潤滑油，以消除半導體應用中可能存在的污染物。

Nye Lubricants 調查了我們產品配方中目前用作增稠劑、添加劑或油脂的所有 PTFE 和 PFPE 中的 PFOA（全氟辛酸）含量。 根據 REACH 指南和其他國際法規，用於半導體行業的所有 Nye 產品的 PFOA 含量均低於 25 ppb（十億分之一）。 訪問我們的質量頁面下載 Nye 的 PFOA 聲明。

PFPE 與 MAC 潤滑劑

PFPE 和 MAC 潤滑劑都推薦用於真空環境，因為它們的蒸氣壓低，脫氣率低。 與 MAC 潤滑劑（最高 150° C）相比，PFPE 潤滑劑具有更好的高溫性能（最高 250° C）。 由於其獨特的添加劑包，與 PFPE 潤滑劑相比，MAC 潤滑劑可提供更好的磨損保護。 這兩種化學物質都可以進行超濾，與塑料和彈性體兼容，並符合 PFOA 規定。

NyeTorr® 與 NyeClean

我們的 NyeTorr® 和 NyeClean® 產品是化學穩定、無毒、低蒸氣壓的合成潤滑劑，適用於軸承、直線導軌、滾珠絲槓和其他敏感機構等半導體部件。 NyeTorr® 產品推薦用於暴露於高溫的超高真空應用。 NyeClean® 產品具有良好的低顆粒生成特性，推薦用於無塵室應用，例如幾乎沒有真空的後端包裝等.

潤滑脂運動粘度@40°C真空穩定性特徵
NYECLEAN 5057 192 cSt TML= 0.225 wt%
CVCM= 0.054 wt%		 已停產的傳統 PFPE 半導體潤滑脂的建議替代品。
NYECLEAN 5097R 140 cSt TML= 0.441 wt%
CVCM= 0.044		 適用於不擔心脫氣的環境，工作溫度不超過180° C，可提供卓越的耐腐蝕性和耐磨性能。
NYETORR 5300 140 cSt TML= 0.320 wt%
CVCM= 0.045 wt%		 行業標準 PFPE 真空潤滑脂。
NYETORR 5300XP 140 cSt TML= 0.075 wt%
CVCM= 0.018 wt%		 在高負載應用中提供更好的耐磨性能。
NYETORR 5350 152 cSt TML=0.757 wt%
CVCM=0.451 wt%		 適用於低至中等真空條件，具有改進的負載和磨損性能。
NYETORR 6300 188 cSt TML= 0.036 wt%
CVCM= 0.006 wt%		 顯著降低脫氣率。
NYETORR 6300S 188 cSt TML= 0.012 wt%
CVCM= 0.000 wt%		 一種軟潤滑脂，用於需要較低粘性阻力和扭矩阻力的應用。
NYETORR 6350EL 200 cSt TML = 0.060 wt%
CVCM = 0.008 wt%		 在需要低脫氣和低扭矩的應用中提供終身潤滑性能。
NYETORR 6370EL 362 cSt TML= 0.063 wt%
CVCM= 0.001 wt%		 提供任何 PFPE 潤滑劑中最長的使用壽命，同時提供卓越的耐腐蝕
潤滑脂運動粘度@40°C真空穩定性特徵
NYETORR 5200 108 cSt TML= 0.068 wt%
CVCM= 0.007 wt%		 卓越的扭矩和抗磨損性能，可延長部件壽命。
NYETORR 6200 108 cSt TML= 0.058 wt%
CVCM= 0.025 wt%		 優越的脫氣和抗磨性能。
油運動粘度@40°C真空穩定性特徵
NYETORR 5301 140 cSt TML= 0.230 wt%
CVCM= 0.033 wt%		 NyeTorr® 5300 中使用的基礎油。
NYETORR 6301 187 cSt TML= 0.00 wt%
CVCM= 0.000 wt%		 NyeTorr® 6300 中使用的基礎油。
NYETORR 5361 192 cSt TML= 0.03 wt%
CVCM= 0.010		 一種具有低蒸氣壓的油，可抵抗路易斯酸催化降解。
NYETORR 6371 446 cSt TML= 0.020 wt%
CVCM= 0.002 wt%		 NyeTorr® 6370EL 中使用的基礎油。
NYETORR 5381 809 cSt TML= 0.070 wt%
CVCM= 0.004 wt%		 用作需要一定程度阻尼的靜態密封件的潤滑脂替代品。
油運動粘度@40°C真空穩定性特徵
NYETORR 5201 108 cSt TML= 0.120 wt%
CVCM= 0.013 wt%		 NyeTorr® 5200 中使用的基礎油。
NYETORR 6201 108 cSt TML= 0.110 wt%
CVCM= 0.010 wt%		 NyeTorr® 6200 中使用的基礎油。
產品運動粘度@40°C真空穩定性特徵
NYEVAC 9720 61 cSt TML= 0.359 wt%
CVCM= 0.023 wt%		 用於渦輪分子泵的酯油
NYEVAC 9721 61 cSt TML= 0.942 wt%
CVCM= 0.467 wt%		 一種用鋰皂增稠的酯潤滑脂，用於渦輪分子真空泵系統。
NYEVAC 9724 61 cSt TML= 0.279 wt%
CVCM= 0.073 wt%		 一種用 PTFE 增稠的非常柔軟的酯潤滑脂，用於渦輪分子真空泵系統。

測試與製造

用於製備潤滑劑的材料和製造方法會影響潤滑劑的清潔度。 在 Nye，我們的原材料必須符合嚴格的質量標準。 我們的真空潤滑劑在我們經過 ISO 8 級和 7 級認證的潔淨室中製造和包裝，以確保我們的產品適合您的製造環境。

我們所有的產品也可以在我們的真空航空航天半導體測試 (VAST) 實驗室在真空和高溫下進行測試。 在這些模擬操作條件下進行的測試為我們的客戶提供準確的氣體釋放、顆粒生成和其他重要性能數據，幫助他們為精密晶圓廠設備和高端製造工藝選擇合適的潤滑劑。 近 50 年來，Nye 的獨特材料（如 Pennzane）和製造方法（如超濾）已被證明可以承受地球和太空中最惡劣的條件。

 

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